실리콘 웨이퍼의 분위기 테스트 노 롤러는 롤러로 보호

실리콘 웨이퍼의 분위기 테스트 노 롤러는 롤러로 보호

장비 애플리케이션 : 주로 산화 먼지없는 생산 실험을 위해, 실리콘 웨이퍼 (156x156x0.2mm)을 제조

제품 세부 묘사

기술이의실리콘 웨이퍼의 분위기 테스트 노 롤러는 롤러로 보호
 
1.equipment 명 : 실리콘 웨이퍼 분위기 보호 실험 롤러로
2.equipment 신청 : 주로 산화 먼지없는 생산 실험을 위해, 실리콘 웨이퍼 (156x156x0.2mm)을 제조
 
매개 변수이의실리콘 웨이퍼의 분위기 테스트 노 롤러는 롤러로 보호
 
3.1로 크기 : 1380 × 500 × 100 (W × H × L) mm
3.2 전체적인 크기 : 1980 × 1500 × 1100 (W × H × L) mm
3.3 온도 정격 : 1300 ℃
3.4 동작 온도 : 1000 ℃
3.5 온도 제어 정확도 ≤ ± 2 ℃
노 3.6 온도차 ≤ ± 5 ℃
가열로 외부 3.7 온도 : ≤ ± 40 ℃
온도 제어 그룹의 3.8 : 3 개의 온도 영역에서 3 개 온도 제어 테이블
작동 속도는 3.9 : 5 분, 400mm / 분에있어서 전체 가마를 계산할
3.10 속도 제어 범위 : 120 ~ 700mm / 분,
3.11 가열 방식 : 전기 가열 노 설치 상부
heating element: silicon carbon rod, upper mounting
3.13 화력 : 36kw
3.14 절연 전력 : 25kw
가열 시간 : 1,080mm
노 라이닝 재료 : 커런덤 재료는 전체 장비의 노에서 가열 챔버를 채용
3.17 절연 재질 : 빛 절연 벽돌과 섬유면
3.18 절연 수준 : 하단 330mm, 양쪽에 350mm, 그리고 최고 400mm
3.19 control cabinet: independent automatic control
3.20 장비 구조 : 1 부
3.21 냉방 모드 : 자연 냉각
3.22 전송 모드 : 45 베벨 기어 변속기
3.23 속도 조절 : 무단 주파수 변환 제어
3.24 흡기 카테고리 : 질소 및 산소
 
영화이의실리콘 웨이퍼의 분위기 테스트 노 롤러는 롤러로 보호
 
Roller furnace silicon wafer atmosphere test protects roller furnace
실리콘 웨이퍼의 분위기 테스트 노 롤러는 롤러로 보호

 

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